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场发射扫描电子显微镜
2016-08-30 12:48:26 来源: 作者: 【 】 浏览:674
1.设备名称:场发射扫描电子显微镜
2.型号:Merlin Compact
3.配件:X射线能谱仪(Xflash/30);氩离子抛光系统(685.C)
4. 制造厂家:德国蔡司
5. 引进时间:2016年4月
6. 功能及用途
场发射扫描电子显微镜可对样品实现超高分辨率的微观形貌观察,配备了安装在镜筒内正光轴上的环形二次电子(In-lens)和能量选择背散射式In-lens Duo探测器,带有能量过滤栅网,可分别获得二次电子或背散射电子图像,在低电压下,其二次电子和背散射电子均具有卓越的分辨能力;样品室二次电子探测器;角度选择背散射电子探测器(AsB);X射线能谱仪(EDS);红外CCD相机。通过接收特征X信号,能快速进行样品元素高精度的点、线、面扫描分析。利用氩离子抛光系统(配备有液氮冷台)对样品进行扇形截面(扇形角度为10到90度可调)和平面抛光,可实现对页岩纳米孔隙的观测。
7. 主要技术指标
a.分辨率:0.8 nm@15kV;1.6nm@1kV。
b加速电压范围:20V-30kV,以10V步进连续可调。
c.放大倍数范围:12x-2,000,000x,高倍率与低倍率连续调。
d.探针电流:范围5pA-20nA。
e.可分析元素范围:Be4-Am95。
f.能量分辨率:优于129eV(Mn K);F元素K峰优于62eV;C元素K峰优于54eV。



场发射扫描电子显微镜



氩离子抛光机


自动镀膜仪

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郝乐伟,博士,助理研究员。主要从事沉积储层以及相关地球化学的研究工作,目前已发表文章20余篇。主要负责仪器的日常维护、运行管理、方法开发及质量管理工作。办公室:211室;Email:haolewei66@163.com

Tags:发射 扫描 电子显微镜 责任编辑:admin
 
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